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真空系统安装、调试过程中，检查、保证连接部位的密封性，是检漏工作的重点，前提是此前真空设备焊缝的气密性已经通过加工阶段的检漏，避免同时多方面检漏，导致工作量和难度加大。大型且复杂的真空设备最好采用分段检漏，每完成一个阶段，便对对相应的连接部位和焊缝进行一次检漏，达到要求后再进行下一步。具体的需要注意以下几个方面：首先，了解待检设备的结构组成和装配过程。掌握设备的要求，查明需要进行检漏的重点可...

真空技术与设备网作为真空产业内权威媒体传播平台，我们以开放的心态为真空产业提供持续发展的技术交流和传播平台！真空检漏的一些基本概念真空检漏就是检测真空系统的漏气部位及其大小的过程。基本信息：中文名称真空检漏外文名称:vacuum leak detection单位:帕·米3/秒(Pa·m3/sec)简介真空系统、容器或器件的器壁因材料本身缺陷或焊缝、机械连接处存在孔洞、裂纹或间隙等缺陷，外部大...

用压力表示真空度是由历史上采用 U 型压力计测量真空所沿用下来的，这并不十分合理。在一般真空系统中，通常以各向同性的中性气体的压力这一流体静力学的物理量表示真空度，因此，真空度的测量仅仅归结于压力的测量。但应特别注意测量条件，测量的对象是在有限的容器内的静止（随机运动）、稳态、各向同性单一的中性气体。在这种情况下，麦克斯威速度分布、余弦散射定律和流体静力学压力概念（p = nkT，v= 1/...

测量容器中或某部分空间气体的稀薄程度（即真空度）的技术。真空测量技术在真空电子器件工艺、固态电子器件工艺、集成电路工艺、表面分析技术等领域有广泛应用。真空度常用容器中气体的总压强 P来表示。气体压强的测量单位是牛顿/米2，简称帕(Pa)，传统上气体压强单位采用毫米汞柱，后来发现汞的同位素组成不是唯一的，故在1971年国际计量会议规定1标准大气压＝101325.0帕＝760托 (Torr)1毫...

“客户要求是 0.08MPa，这台真空泵的绝对真空度是160mbar”相信很多用户心里的计算器哒哒哒哒的按了半天还是不知道该怎么算。先来简单介绍下真空的概念。什么是真空？真 空   理论上是指容积里面不含有任何的物质。（现实中是不存在真正的真空的）通常把容器内气压低于正常大气压（101325 Pa）的都称之为真空状态。真空度   表示处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用压力值来表示。实际应用...

抽气过程中：气体在真空管道中的流动状态1.湍流管道中气体压力和气体流速较高时，气体流动处于不稳定状态，气体流场中的各质点的速度随时间而变化，惯性力在气体流动中起着主导作用。2.粘滞流（注：d＞100λ，d=管道直径，λ=平均自由程）管路中气体压力逐渐降低后，气体流动变为具有不同速度的流动层，气体流线随着管道形状变化而变化。3.分子流（注：d＜λ，d=管道直径，λ=平均自由程）当管道中气体压力...

1.氦质谱检漏  该技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏效率高，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在检漏中得到了广泛应用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使...

极限真空概念“极限真空”完整名称是“极限真空度”，是指微型真空泵能达到的最大真空度。“极限真空”，表示该状态下，没有任何物质（包括分子、原子等）存在，这只是理论上才存在的状态，实际是不可能达到的。比如，某台抽气能力很弱的微型真空泵，它经过无限长的时间也只能把密闭容器内的气体压力由常态的100KPa降到95KPa，那么95KPa就是这台泵的极限真空度，比如成都公司生产的PM950.2。再比如，...

      氦质谱检漏仪的发展史必须追溯到上个世纪初。早在1918年，一次世界大战期间，欧洲国家因战争和军工的需要就开始接触检漏，并开始对检漏手段的提升做了大量的基础研究工作，直到1941年，当时正处于第二次世界大战期中。当时，科学家获知德国正在研制一种新型炸弹。这种炸弹的原理就是基于刚刚发现的铀的同位素的裂变现象。罗斯福总统认为必须抢先达到此目的，加之第二年的珍珠港事件加速诞生了“曼哈顿...

一，皮拉尼真空计1.皮拉尼真空计原理加热电阻丝，使之升温至需要的工作温度由于气体粒子与 电阻丝碰撞离开时带走了能量，电阻丝的温度会发生变化热丝的能量损失与热丝周围的气体浓度及气体成分成比例关系2.衍生出两种类型的皮拉尼规1，稳定温度，测量施加的电压变化等效测量真空度（INFICON PSG500）2，稳定电压，测量温度变化等效测量真空度（热偶规）3.气体的热传导，与下列提条件有关:1，气体类...

      离子泵具有封闭抽气、可耐高温烘烤、没有运动部件，长期工作的可靠性高、在超高真空下的寿命很长等特点，这些特点使得其特别适合用于：超高真空、需要高温烘烤的应用、对振动敏感的应用、对可靠性要求很高的应用等。应该选择二极泵还是三极泵       型号的选择取决于被抽气体类型。安捷伦 Diode 二极泵对氧气 、氮气 、二氧化碳 、一氧化碳以及其他活性气体具有很高的抽速，而对甲烷、氩气和...

1.低温泵口热负荷的影响      低温泵人口障板的热负荷一般是按300K气体计算的,如果低温泵入口温度过高,应采用一定的方法将热源屏蔽。否则可能使入口障板温度超过100K,直接影响吸附阵的温度,影响捕获气体。2.低温泵突然断电对运行的影响      低温泵连续运行中,活性炭吸附氦已饱和。如果短时间停电,使吸附阵回温,氦气将释放出来。水蒸气也将从二级冷屏及障板上解吸出来,被吸附阵吸附。在这种...

在选型前，我们必须弄清楚关于真空泵的几个基础概念。真空度：处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用真空度表示。从真空表所读得的数值称真空度。真空度数值是表示出系统压强实际数值低于大气压强的数值，从表上表示出来的数值又称为表压强，业界也称为极限相对压强，即： 真空度=大气压强-绝对压强(大气压强一般取101325Pa，水环式真空泵极限绝对压强3300Pa；旋片式真空泵极限绝对压强约10Pa)极限相...

1.真空泵的极限压强极限压强又称极限真空，单位是Pa，是指泵在入口处装有标准试验罩并按规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向稳定的最低压强,即真空泵的入口端经过充分抽气后所能达到的最低的稳定的压力 。2.真空泵的抽气速率抽气速率单位是m3/s或l/s，是指泵装有标准试验罩，并按规定条件工作时，从试验罩流过的气体流量与在试验罩指定位置测得的平衡压强之比。简单的说即是指真空泵在单位时间...

1.真空泵的极限压强极限压强又称极限真空，单位是Pa，是指泵在入口处装有标准试验罩并按规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向稳定的最低压强,即真空泵的入口端经过充分抽气后所能达到的最低的稳定的压力 。2.真空泵的抽气速率抽气速率单位是m3/s或l/s，是指泵装有标准试验罩，并按规定条件工作时，从试验罩流过的气体流量与在试验罩指定位置测得的平衡压强之比。简单的说即是指真空泵在单位时间...

     真空系统是指由真空泵、真空计及各种零件通过管道以适当的方式联接，组合成能达到一定真空度要求的装置。真空系统的基本要求是都有哪些？1.在被抽器件或工作室内获得所需的极限真空和工作真空度。      极限真空度是指器件在无漏放气时所达到的真空度,工作真空度是指在器件进行真空处理时所能维持的真空度。真空处理时往往要放出大量气体，这时的工作真空度将显著地低于极限真空度。极限真空度和工作真...

真空泵真空度低的原因：一、真空泵本身漏气1、密封圈漏气。应检查所有密封部位的密封情况，更换破损的密封圈；2、气镇阀垫圈损坏，或未拧紧。应更换垫圈并拧紧气镇阀；3、排气阀片损坏，密封不好，应更换气阀片；4、真空泵中隔板压入时过盈量太大，造成真空泵腔变形而漏气。应修整真空泵腔或更换；5、由于真空泵的端面油密封不良造成漏气。应拆开端盖，检查是否有杂物或不平整，并进行清洗或修理。二、真空泵油有问题1...

工作在10-5Pa以上的超高真空机组有扩散泵、分子泵超高真空机组和无油超高真空机组.该机组有如下特点:①主泵极限真空度高，在10-7~10-8pa以上;②能经受200~450℃的高温烘烤;③主泵返流气体的分压力很低;④对被抽气体选择性强的主泵，要配备足够大的辅助泵;⑤要求真空室、管道、阀门等部件的材料出气率很低，漏气率很小。(1)扩散泵超高真空机组以扩散泵为主泵的超高真空机组的极限真空度为1...

真空热处理技术简介真空热处理是真空技术与热处理技术相结合的新型热处理技术，真空热处理所处的真空环境指的是低于一个大气压的气氛环境，包括低真空、中等真空、高真空和超高真空，真空热处理实际也属于气氛控制热处理。真空热处理是指热处理工艺的全部和部分在真空状态下进行的，真空热处理可以实现几乎所有的常规热处理所能涉及的热处理工艺，但热处理质量大大提高。与常规热处理相比，真空热处理的同时，可实现无氧化、...

化学镀膜最早用于在光学元件表面制备保护膜。随后，1817年，Fraunhofe在德国用浓硫酸或硝酸侵蚀玻璃，偶然第一次获得减反射膜，1835年以前有人用化学湿选法淀积了银镜膜它们是最先在世界上制备的光学薄膜。后来，人们在化学溶液和蒸气中镀制各种光学薄膜。50年代，除大快窗玻璃增透膜的一些应用外，化学溶液镀膜法逐步被真空镀膜取代。真空蒸发和溅射这两种真空物理镀膜工艺，是迄今在工业撒谎能够制备光...

真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面，它是以真空技术为基础，利用物理或化学方法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术，为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。简单地说，在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射，使其在被涂覆的物体（称基板、基片或基体）上凝固并沉积的方法，称为真空镀膜。   众所周知，在某些材料的表面上，只要镀上一层薄膜，就能使材料具有许多新...

1、真空的定义真空系统指低于该地区大气压的稀簿气体状态。2、真空度处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。3、真空度单位通常用托（Torr）为单位，近年国际上取用帕（Pa）作为单位。1托＝1/760大气压＝1毫米汞柱4、托与帕的转换1托＝133.322帕　或　1帕＝7.5×10-3托5、平均自由程作...

真空半导体镀膜的应用现状众所周知，半导体的含义顾名思义就是其导电性介于干导体和绝缘体之间，其电阻率间于金属和绝缘体之间，通常在室温时为1mΩ·cm～1GΩ·cm 范围之内。近年来，真空半导体镀膜在各大半导体企业中，显然其地位是越来越高的，特别是在一些大规模集成系统电路的开发技术研究方法以磁电变换器件、发光器件等研制工作方面的体现尤为明显，真空半导体镀膜具有重要的作用。半导体根据其固有的性质、...

物理气相沉积是真空条件下采用物理方法把欲涂覆物质沉积在工件表面上形成膜的过程，通常称为PVD（Physical Vapour Deposition）法。在进行PVD处理时，工件的加热温度一般都在600℃以下，这对于用高速钢、合金模具加工钢及其他钢材制造的模具加工都具有重要意义。目前，常用的有三种物理气相沉积方法，即真空蒸镀、溅射镀膜和离子镀，其中，离子镀在模具加工制造中的应用较广。发展到目前...

什么是PVD 技术(物理气相沉积Physical Vapor Deposition) ：PVD-物理气相沉积：指利用物理过程实现物质转移，将原子或分子由源转移到基材表面上的过程。它的作用是可以使某些有特殊性能（强度高、耐磨性、散热性、耐腐性等）的微粒喷涂在性能较低的母体上，使得母体具有更好的性能。PVD基本方法：真空蒸镀、溅镀 、离子镀（空心阴极离子镀、热阴极离子镀、电弧离子镀、活性反应离子...

在高真空下，电子枪灯丝加热后发射热电子，被加速阳极加速，获得很大的动能轰击到的蒸发材料上，把动能转化成热使蒸发材料加热气化，而实现电子束蒸发镀膜。电子束蒸发源由发射电子的热阴极、电子加速极和作为阳极的镀膜材料组成。电子束蒸发源的能量可高度集中，使镀膜材料局部达到高温而蒸发。通过调节电子束的功率，可以方便的控制镀膜材料的蒸发速率，特别是有利于高熔点以及高纯金属和化合物材料。电子束蒸发镀膜的特点...

半导体真空设备零部件介绍与检漏         基于实际应用, 介绍了半导体设备真空结构和真空室常用部件, 讲述了He 质谱检漏仪的使用方法。总结了真空检漏的经验, 阐述了微漏难检的现状。分析了磁控溅射台和ICP 真空故障, 采用静压检漏法和He 质谱检漏仪检漏法, 给出了零部件微漏导致这些设备抽不上高真空的结论。指出今后的发展方向是真空部件小型化, 以及根据设备特点来提高真空部件的可靠性。...