离子泵具有封闭抽气、可耐高温烘烤、没有运动部件,长期工作的可靠性高、在超高真空下的寿命很长等特点,这些特点使得其特别适合用于:超高真空、需要高温烘烤的应用、对振动敏感的应用、对可靠性要求很高的应用等。应该选择二极泵还是三极泵 型号的选择取决于被抽气体类型。安捷伦 Diode 二极泵对氧气 、氮气 、二氧化碳 、一氧化碳以及其他活性气体具有很高的抽速,而对甲烷、氩气和...
1.低温泵口热负荷的影响 低温泵人口障板的热负荷一般是按300K气体计算的,如果低温泵入口温度过高,应采用一定的方法将热源屏蔽。否则可能使入口障板温度超过100K,直接影响吸附阵的温度,影响捕获气体。2.低温泵突然断电对运行的影响 低温泵连续运行中,活性炭吸附氦已饱和。如果短时间停电,使吸附阵回温,氦气将释放出来。水蒸气也将从二级冷屏及障板上解吸出来,被吸附阵吸附。在这种...
在选型前,我们必须弄清楚关于真空泵的几个基础概念。真空度:处于真空状态下的气体稀簿程度,通常用真空度表示。从真空表所读得的数值称真空度。真空度数值是表示出系统压强实际数值低于大气压强的数值,从表上表示出来的数值又称为表压强,业界也称为极限相对压强,即: 真空度=大气压强-绝对压强(大气压强一般取101325Pa,水环式真空泵极限绝对压强3300Pa;旋片式真空泵极限绝对压强约10Pa)极限相...
1.真空泵的极限压强极限压强又称极限真空,单位是Pa,是指泵在入口处装有标准试验罩并按规定条件工作,在不引入气体正常工作的情况下,趋向稳定的最低压强,即真空泵的入口端经过充分抽气后所能达到的最低的稳定的压力 。2.真空泵的抽气速率抽气速率单位是m3/s或l/s,是指泵装有标准试验罩,并按规定条件工作时,从试验罩流过的气体流量与在试验罩指定位置测得的平衡压强之比。简单的说即是指真空泵在单位时间...
1.真空泵的极限压强极限压强又称极限真空,单位是Pa,是指泵在入口处装有标准试验罩并按规定条件工作,在不引入气体正常工作的情况下,趋向稳定的最低压强,即真空泵的入口端经过充分抽气后所能达到的最低的稳定的压力 。2.真空泵的抽气速率抽气速率单位是m3/s或l/s,是指泵装有标准试验罩,并按规定条件工作时,从试验罩流过的气体流量与在试验罩指定位置测得的平衡压强之比。简单的说即是指真空泵在单位时间...
真空系统是指由真空泵、真空计及各种零件通过管道以适当的方式联接,组合成能达到一定真空度要求的装置。真空系统的基本要求是都有哪些?1.在被抽器件或工作室内获得所需的极限真空和工作真空度。 极限真空度是指器件在无漏放气时所达到的真空度,工作真空度是指在器件进行真空处理时所能维持的真空度。真空处理时往往要放出大量气体,这时的工作真空度将显著地低于极限真空度。极限真空度和工作真...
真空泵真空度低的原因:一、真空泵本身漏气1、密封圈漏气。应检查所有密封部位的密封情况,更换破损的密封圈;2、气镇阀垫圈损坏,或未拧紧。应更换垫圈并拧紧气镇阀;3、排气阀片损坏,密封不好,应更换气阀片;4、真空泵中隔板压入时过盈量太大,造成真空泵腔变形而漏气。应修整真空泵腔或更换;5、由于真空泵的端面油密封不良造成漏气。应拆开端盖,检查是否有杂物或不平整,并进行清洗或修理。二、真空泵油有问题1...
工作在10-5Pa以上的超高真空机组有扩散泵、分子泵超高真空机组和无油超高真空机组.该机组有如下特点:①主泵极限真空度高,在10-7~10-8pa以上;②能经受200~450℃的高温烘烤;③主泵返流气体的分压力很低;④对被抽气体选择性强的主泵,要配备足够大的辅助泵;⑤要求真空室、管道、阀门等部件的材料出气率很低,漏气率很小。(1)扩散泵超高真空机组以扩散泵为主泵的超高真空机组的极限真空度为1...